Pregled proizvoda
7N amonijak je elektronski-specijalni plin s razinom čistoće od 99,99999%. Primarno se sintetizira iz dušika i vodika pod visokom temperaturom i tlakom, nakon čega slijedi više-fazna destilacija, adsorpcija i postupci pročišćavanja. Kao ključni procesni plin u poluvodiču, složenom poluvodiču i naprednoj proizvodnji zaslona, njegova ultra-visoka čistoća ključna je za osiguravanje kvalitete tankog-sloja, performansi uređaja i proizvodnog prinosa. Čak i nečistoće u tragovima-kao što su vlaga, kisik, ugljikovodici i metalni ioni-mogu dovesti do kvarova na uređaju, čineći 7N amonijak nezamjenjivim temeljnim materijalom u-vrhunskoj proizvodnji.
Osnovne informacije
| CAS br. | 7664-41-7 |
| UN br. | UN1005 (Amonijak, bezvodni, komprimirani plin) |
| Klasifikacija opasnosti | Otrovni plin klase 2.3, korozivna tvar klase 8 |
Ključni atributi i parametri
| Čistoća | Veći ili jednak 99,99999% (7N stupanj) |
| Ključne razine nečistoće (tipične vrijednosti, u ppb) |
Vlaga (H₂O): Manje od ili jednako 10 ppb Kisik (O₂): manje od ili jednako 5 ppb Ukupni ugljikovodici (THC): manji ili jednak 5 ppb Metalni ioni (Fe, Ni, Cu, Na, K, itd.): manje od ili jednako 0,01 ppb |
| Pakiranje | Cilindri, Y-cilindri, ISO prikolice za cijevi (prilagodljive na temelju potreba kupaca) |
| Tlak punjenja | Obično 20–50 bara (ovisno o spremniku) |
Značajke i prednosti
Ultra{0}}visoka čistoća i postojanost
Koristi više{0}}faznu tehnologiju pročišćavanja i online analizu kako bi se osiguralo da svaka serija 7N amonijaka ispunjava najstrože zahtjeve procesa poluvodiča s dosljednom čistoćom i razinama nečistoća.
Izuzetno niska kontaminacija česticama i metalima
Završna filtracija do 0,003 μm osigurava minimalan sadržaj čestica i metalnih iona, sprječavajući kontaminaciju osjetljivih struktura čipova.
Stabilan lanac opskrbe i potpuna sljedivost
Implementira zatvorenu{0}}kontrolu petlje od izvora plina, pročišćavanja i punjenja do analitičkog testiranja, pružajući potpuna i sljediva izvješća o inspekciji kvalitete (CoA) kako bi se osigurala sigurnost opskrbnog lanca.
Profesionalna tehnička i sigurnosna podrška
Nudi sveobuhvatna rješenja uključujući smjernice za korištenje plina, projektiranje cjevovoda i sigurnosnu obuku kako bi kupci mogli sigurno i učinkovito koristiti 7N plin amonijak visoke -čistoće.
Funkcionalne karakteristike
Kao izvor dušika
U epitaksijalnim procesima kao što je Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD), 7N plin amonijak visoke-čistoće služi kao ključni prekursor dušika za uzgoj spojeva III-V poluvodiča kao što su galijev nitrid (GaN) i aluminijev nitrid (AlN).
Kao reaktivni plin
Kod nagrizanja poluvodiča i taloženja tankog-filma silicijevog nitrida (Si₃N₄), njegove karakteristike visoke-čistoće osiguravaju ujednačenost filma, nisku gustoću defekata i izvrsna električna svojstva.
Kao nosač ili doping plin
U određenim procesima može se koristiti za isporuku ili doping, gdje njegova čistoća izravno utječe na napon praga uređaja, mobilnost i pouzdanost.
Primarna polja primjene
Proizvodnja poluvodiča
Koristi se za taloženje silicijevog nitrida/titanijevog nitrida i epitaksijalni rast spojeva poluvodiča III-V (npr. GaN, GaAs).
Tehnologija zaslona
Služi kao -izvor dušika visoke čistoće u inkapsulaciji tankog-sloja i izradi TFT stražnje ploče za OLED i Micro-LED zaslone.
Fotonaponski
Koristi se za taloženje pasivizirajućeg sloja za visoko{0}}učinkovite solarne ćelije (npr. HJT, TOPCon).
Istraživanje i napredni materijali
Razvoj novih nitridnih materijala, sinteza kvantne točke i priprema nitrida visoke-čistoće.
Slučaj suradnje s klijentima
Uspostavili smo dugoročno-strateško partnerstvo s-vodećim svjetskim-proizvođačem poluvodiča treće{2}}generacije. Za njihovu GaN-on-Si liniju za masovnu proizvodnju energetskih uređaja, kupac je zahtijevao gotovo-ograničene specifikacije za vlagu i metalne nečistoće u 7N plinu amonijaku visoke-čistoće (vlaga manja ili jednaka 5 ppb, metalni ioni manji ili jednaki 0,005 ppb). Za njih smo prilagodili namjenski modul za pročišćavanje i mrežni sustav nadzora i implementirali neprekinutu opskrbu-bez kontaminacije--točke upotrebe putem namjenskog cjevovoda. Tijekom cijele suradnje, isporučeni plin amonijak visoke -čistoće 7N pomogao je korisniku smanjiti gustoću defekata epitaksijalne pločice za 30%, značajno poboljšavajući učinak i pouzdanost uređaja, čime je učvrstio svoju vodeću poziciju na tržištu visoko{19}}naponskih poluvodiča. Ovaj slučaj predstavlja primjer naše snažne sposobnosti u pružanju integriranih rješenja za plin ultra-visoke-čistoće.
FAQ
Popularni tagovi: 7n amonijak, Kina 7n amonijak proizvođači, dobavljači, tvornica, plin u bocama, Kalibracijski plin CO2, Heksafluoroetan, Vodikov fluorid CAS 7664 39 3, Tekući ksenon, Sumporov heksafluorid CAS 2551 62 4